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事業紹介

事業紹介

東精エンジニアリングには「半導体製造装置」「自動測定機器」「計測サービス」の3つの事業分野があります。各事業の特徴についてそれぞれご紹介します。

半導体製造装置

半導体デバイスのウェーハ品質向上に貢献し、世界シェアNo.1に輝く面取り機
次世代など最先端のデバイス製造に欠かせない半導体製造装置

こんなことをやっています

半導体デバイスの基盤となるウェーハの加工等を行う半導体製造装置を取り扱っています。
現在、スマートフォン、TV、自動車、家電など、身近にある電気・電子製品に搭載されている半導体デバイスの材料となる300ミリシリコンウェーハの約9割は、当社の面取り機を使って加工されています。
近年の半導体デバイスの微細化、高集積化に伴い求められる「高精度・高品質」な半導体製造装置の開発設計・製造を行っています。

代表的な製品例

 半導体材料のシリコンウェーハ、LED用材料のサファイアウェーハをはじめとする各種電子材料のウェーハの割れを防止するプロセス装置である面取り機

スライシングマシン/ワイヤソーで切断したウェーハをスライスベースから剥離・洗浄し、全自動でカセットに収納するウェーハ剥離洗浄機 

半導体製造装置に携わる社員インタビュー

自動測定機器

生産現場を支え、品質を保証するための
世界最高レベルの高精度・高速・耐環境性精密測定機器

こんなことをやっています

自動車、工作機器、家電及び各種エレクトロニクス製品などの精密部品向けの自動計測機器を取り扱っております。とくに精密部品の生産ラインで使用される計測機器は、その測定精度や安定性はもちろんのこと、壊れにくく使いやすいことが強く求められるため現場を意識した製品開発・製造を行っており、近年はIoTやグローバル化の要求に応えるためのセンサやコントローラの開発を進めています。

代表的な製品例

工作機械に取り付けられ加工中の機械をリアルタイム制御するインプロセスゲージ

加工後の部品をチェックするポストプロセスゲージ

インプロセスゲージとポストプロセスゲージを統合したフィードバックシステム 

自動測定機器に携わる社員インタビュー

計測サービス

世界的なブランドを有する東京精密
測定器の点検、 校正などのサービスを独占

こんなことをやっています

自社製品をはじめとした株式会社東京精密やドイツ・カールツァイス社等の計測機器の校正・修理・保守を行っています。
国内はもとより、海外まで広くカバーしています。

具体的な事例

故障発生時の技術者の派遣、修復の実施

ソフトウェア及び測定プログラム作成のサポート

その他 測定支援に関するご提案 

計測サービスに携わる社員インタビュー

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